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reactive ion beam etching中文是什么意思
- 中文翻譯
- 造句
- 反應(yīng)離子束刻蝕
- reactive adj. 1.反動的，倒退的，復(fù)古的。 2.反應(yīng)的；反作 ...
- ion n. 【物理學(xué)】離子。 positive [negati ...
- beam n. 1.梁，棟梁，桁條；(船的)橫梁。 2.船幅；(動 ...
- etching n. 1.蝕刻法；蝕刻(銅)版畫；蝕鏤術(shù)。 2.蝕刻畫， ...
- etching reactive ion 反應(yīng)離子蝕刻法
- etching, reactive ion (rie) 反應(yīng)離子蝕刻法
- reactive ion etching 無功離子蝕刻
- reactive ion etching rie 反應(yīng)離子刻蝕
- triode reactive ion etching system 三極型反應(yīng)性離子蝕刻系統(tǒng)
- ion beam etching 離子束腐蝕
- ion beam etching system 離子束蝕刻系統(tǒng)
- reactive ion beam 活性離子束
- reactive ion beam etch 活性離子束腐蝕
- reactive ion beam oxidation 活性離子束氧化
- hexode type reactive ion etching system 六角柱型反應(yīng)性離子蝕刻系統(tǒng)
- reactive etching 反應(yīng)侵蝕; 反應(yīng)性腐蝕
- ion etching 離子刻蝕; 離子蝕刻法
- reactive sputter etching 反應(yīng)濺射刻蝕
- reactive sputter etching system 反應(yīng)性濺鍍蝕刻系統(tǒng)
- high frequency ion etching 高頻離子腐蝕
- ion bombardment etching 離子轟擊浸蝕
- ion enhanced etching 離子增強(qiáng)腐蝕
- ion etching chamber 離子蝕刻室
- ion etching equipment 離子刻蝕設(shè)備
- ion etching machine 離子蝕刻機(jī)
- Reactive ion beam etching system ribe system
反應(yīng)性離子束蝕刻系統(tǒng) - The feasibility that kaufman ion source is applied in reactive ion beam etching is discussed . etching characteristics of materials , including pr , cr , quartz , are investigated . the etch rate and mechanisms of such materials are measured and analyzed as a function of ion energy , ion beam density and ion incidence angle in pure ar and chf3 , respectively . the etch rate has shown a square root dependence on variation versus
深入研究了光刻膠、鉻薄膜、石英等光學(xué)材料離子束刻蝕特性,分別以ar氣和chf3為工作氣體,研究光刻膠、鉻薄膜、石英等的刻蝕速率隨離子能量,束流密度和離子入射角度的變化關(guān)系,得到刻蝕速率與影響因素的擬合方程,為掩模的制作工藝路線提供了實(shí)驗(yàn)依據(jù)和理論指導(dǎo)。
- reactive ion beam etchingとは意味：reactive ion beam etching 反応性イオンビームエッチング[金屬]〈98確H0211:ドライプロセス表面処理用語〉
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